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      國產光刻機項目用了他們的光源解決問題

      原創文章 發布人:YYJT 發布時間:2022-03-10 22:22

      從正面看去,一個比例被放大數十倍的立體玉龍躍然眼前,可當你伸手去觸摸時,卻只碰到了空氣(見下圖),2月22日,在位于新鄉市紅旗區新東產業集聚區的百合光電. 讓我們感受到了裸眼3D懸浮成像技術這一“黑科技”。

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      實現了微米級別光刻光源系統的國產化量產

      除了上述裸眼3D懸浮成像技術,在百合光電,太陽光模擬系統,讓人即使身處暗室也能盡情享受“日光浴”;深紫外輻照模擬設備,可以模擬太空光照環境,被用于建造衛星的材料篩選環節……

      “這些只是我們研發路上的‘副產品’,今年國內的一家新能源汽車品牌參加車展時,也會用到這項技術?!卑俸瞎怆娍偨浝?、英國南威爾士大學光電工程學博士張博說,在研發光刻光源的過程中,該企業掌握了高精度的光學元件加工技術,實現了微米級別光刻光源系統的國產化量產,產品品質達到了國際領先水平,“捎帶”著生產出一系列“黑科技”產品。

      “無論是懸浮感、對比度、分辨率,還是生態環保、使用壽命、綜合成本,我們的產品都經得起市場的競爭和考驗?!睆埐┱f。

      研發生產過程中,深深感受到了被“卡脖子”的痛苦

      2016年,張博帶著一支6人科研團隊,來到紅旗區新東產業集聚區,注冊成立公司,開始了光刻光源的研發?!把邪l生產過程中,深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦,比如很多生產設備的部件,反光碗來自日本,還有的來自美國,那時我們無法完全實現‘中國造’?!?/span>

      光刻、曝光設備是國家的戰略裝備,技術門檻高,投資大,周期長,而光學就是其中的核心難點之一。我國該領域起步晚,經驗少,市場化的產品更是差距巨大。目前,雖然我國90納米的設備已經驗收,正在攻關28納米的光刻機,但在市場上,就算是微米和亞微米級別,國外品牌依然是主流?!盀橹Π雽w裝備產業實現國產化,不再被光刻光源‘卡脖子’,我們每年拿出企業年產值的20%~25%作為科研經費,與各大高校建立戰略合作,從市場需求出發,定位技術攻關方向,聯合培養人才,實現項目產業化?!睆埐┱f。

      近幾年,百合光電開發了系列UV-LED光源系列產品,繞過了國外在超高壓汞燈、恒流源等領域建立的產業壁壘,在節能、環保、降低成本、提高品質等方面全面超越傳統汞燈,符合國家碳達峰、碳中和的遠景目標,實現了產品指標國際領先。在集成電路、液晶、線路板、LED等行業,百合光電已經成功開發并產業化了30余款系列產品,實現整機國產化。

      正式成為中芯國際光學元器件的戰略供應商

      “酒香不怕巷子深”。中科院牽頭的國產光刻機重大項目,采用的是百合光電提供的光源模組;作為國產光刻機民企“龍頭”的大族激光,選用了百合光電生產的整套曝光系統;去年6月起,百合光電向半導體龍頭企業中芯國際保質保量供應了光學零部件,前幾天正式成為中芯國際光學元器件的戰略供應商……

      近5年,百合光電以年均增收20%的速度健康發展,未來兩三年,預計年產值、利潤增幅均將超過100%?!拔覀儗⒗^續探索和開創更多光的可能性,大力投入健康、環境、綠色、娛樂等產業,研發出更多更好的新產品。


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